Модули с ФЭУ
фирмы HAMAMATSU Photonics
Фотоэлектронные умножители (ФЭУ) - это приёмники оптического излучения, незаменимые при роботе с малыми уровнями оптического сигнала и высокими скоростями считывания. Модули, созданные на основе ФЭУ, - это новая группа оптико-электронных устройств, включающая помимо высоковольтного источника питания такие функции, как обработка сигнала, охлаждение, связь с компьютером. В данной статье представлен краткий обзор по модулям ФЭУ фирмы HAMAMATSU Photonics (Япония). Компактность и механическая прочность корпуса, простота использования, возможность наиболее точного выбора под конкретное применение из большого разнообразия модулей - это, несомненно, может заинтересовать.
Фотоэлектронные умножители (ФЭУ) в своем роде долгожители из прошлого века. Еще в 1930 году инженер Л.А. Кубецкий изобрел и запатентовал электронный прибор, в котором явление вторичной электронной эмиссии используется многократно. Заложенные базовые принципы работают и в современных вариантах ФЭУ, хотя сейчас это совершенно другие устройства благодаря конструкциям, материалам, технологиям. Полупроводниковая эра оставила для ФЭУ неизменной определенную нишу оптоэлектронных устройств, особенно для применений, где требуются работа с малыми уровнями света и высокими скоростями. Это прежде всего ряд разнообразных приложений в спектроскопии, медицине, биологии, физике. Вместе с тем ФЭУ — это приборы, применение которых не было простым из-за необходимости использования высоковольтного питания, дополнительных согласующих элементов и плюс к тому — их механическая хрупкость и возможность электрического повреждения.
Японская фирма HAMAMATSU Photonics хорошо известна специалистам в области оптоэлектроники. Разработка и производство электровакуумных приборов (в большинстве своем это ФЭУ)— лишь одно из направлений ее деятельности, где она занимает лидирующие позиции в мире. Можно напомнить, что именно корпорация HAMAMATSU стала «соавтором » Нобелевской премии в области физики в 2002 году. Разработанная уникальная конструкция ФЭУ с размером фотокатода 20" (f508 мм)— самый большой ФЭУ в мире — была произведена в количестве 1100 штук. В подземной лаборатории (Kamiokande Neitrino Detector)в Японии, представляющей собой огромную емкость на глубине 1 км, заполненную водой, установленные специалистами HAMAMATSU 1100 ФЭУ участвовали в эксперименте результатом которого явилось в феврале 1987 года обнаружение нейтрино, путешествовавшего 170,000 световых лет от взрыва сверхновой звезды, зафиксированного как слабый сигнал в уникальных ФЭУ при взаимодействии этого слабого излучения с водой.
Не удивительно, что целый класс новых устройств — модулей на основе ФЭУ детально разработан и запущен в серийное производство именно фирмой HAMAMATSU. Как оптические чувствительные элементы, уникальные модули с ФЭУ позволяют проводить точные и быстрые измерения очень слабых световых потоков с чрезвычайным удобством использования. Их компактный корпус, приспособленный для простого крепления, содержит высоковольтный источник питания, что позволяет сосредоточиться непосредственно на измерениях, а не на настройке и монтаже ФЭУ и связанных цепей. Упрощенная конструкция ФЭУ расширяет и спектр его применений, в том числе в промышленных приложениях и в условиях слож-ной внешней среды.
Модули с ФЭУ, предлагаемые фирмой HAMAMATSU (рис.1), отвечают самым высоким требованиям, представляя собой большое разнообразие изделий, как для научных, так для промышленных применений.Они созданы как на основе традиционных ФЭУ (рис.1,а ), так и на базе ФЭУ со структурой динодов с металлическим каналом (рис.1,б ). Среди их числа можно сделать правильный выбор по характеристикам и размерам, аналоговому ц фровому выходу, с процессором и интерфейсом для управления и связи с компьютером и даже со встроенным затвором.
По функциональным характеристикам модули с ФЭУ можно сгруппировать по схеме, приведенной на рис.2.
Благодаря применению новейших материалов для фотокатода, модули с ФЭУ перекрывают уже спектральный диапазон от 185 до 900 нм (мультищелочной фотокатод). Фотокатод на основе материалов GaAs и GaAsP обеспечивает уникальные параметры по квантовой эффективности до 12%и 40%, соответственно (серия H7422, рис.1, в ). Время нарастания менее 0,78 нс может быть получено в модулях на базе ФЭУ типа R7400U c восьмиступенчатой структурой динодов (промежуточных электродов), изготовленных из травленой металлической фольги. ФЭУ, помещенный в корпус ТО-8, обеспечивает усиление 10 6.
Для облегчения работы с ФЭУ, каждый модуль содержит высоковольтный источник питания (обычно питаемый от 15 В) и встроенный делитель напряжения. Таким образом, нет необходимости применять громоздкое отдельное питание, и пользователь вообще не имеет дела с высоким напряжением.
Корпус изделий рассчитан на удобное крепление, будь то лабораторная установка или прибор. Более того, в зависимости от применения, разнообразие конфигураций включает изделия со встроенным предусилителем, термоэлектрическим холодильником, дискриминатором или компьютерным интерфейсом. Эти же элементы имеются и как отдельные внешние блоки, применяемые совместно с другими устройствами с ФЭУ.
Благодаря этому широкому разнообразию изделий для аналоговых измерений и для счета фотонов, безусловно, есть возможность подобрать модуль, наилучшим образом подходящий для каждого из конкретных применений в физике, биологии и медицине, а также в полупроводниковом производстве и химической промышленности.Вот несколько типичных примеров применений: флюоресцентная корреляционная спектроскопия, чип-считыватель ДНК, многофотонная микроскопия, портативные устройства мониторинга сред, системы контроля в производстве подложек полупроводников.
Основные параметры производимых модулей с ФЭУ сведены в таблице.
Таблица. Основные параметры модулей с ФЭУ
Тип |
Номер серии **** |
Спектральный отклик (нм) |
Время отклика Tr (нс) |
Размер чувствительной области (мм) |
Габаритные размеры (мм) |
Напряжение питания (В) |
Токовый выход |
H5773 серия |
185 –900 |
0,78 |
диам.8 |
50х25х18 |
15 |
H5783 серия |
22х22х50 |
H6779 серия |
185 –900 |
0,78 |
диам.8 |
50х25х18 |
15 |
H6780 серия |
22х22х50 |
H7422 серия |
300 –890 |
0,78/1 |
диам.5,7 |
56х36х104 |
15 |
H7710 серия |
185 –900 |
1,4 |
3,7х13 |
19х53х51 |
15 |
H8567 серия |
|
H7732 серия |
185 –900 |
2,2 |
4х20 |
38х95х50 |
15 |
H7826 серия |
300 –850 |
1,5 |
диам.15 |
26х50х56 |
15 |
Тип |
Номер серии |
Спектральный отклик (нм) |
Частотный отклик (<kГц) |
Размер чувствительной области (мм) |
Габаритные размеры (мм) |
Напряжение питания (В) |
Выход по напряжению |
H5784 серия |
185 –900 |
20 |
диам.8 |
22х22х60 |
+/–15 |
H7711 серия |
185 –900 |
20 |
3,7х13 |
19х53х51 |
+/–15 |
H8568 серия |
H7712 серия |
185 –900 |
200 |
3,7х13 |
19х53х51 |
+/–15 |
H8569 серия |
H8249 серия |
185 –900 |
20,200 |
4х20 |
38х95х50 |
+/–15 |
H7827 серия |
300 –850 |
20,200 |
диам.15 |
26х50х56 |
+/–15 |
Тип |
Номер серии |
Спектральный отклик (нм) |
Характеристики |
Размер чувствительной области (мм) |
Габаритные размеры (мм) |
Напряжение питания (В) |
Внутренний процессор + Интерфейс |
H7468 серия |
185 –900 |
Integration Time 40us to 500ms |
диам.8 |
35х50х60 |
5 |
Тип |
Номер серии |
Спектральный отклик (нм) |
Скорость счета (x 10 6 s –1 ) |
Размер чувствительной области (мм) |
Габаритные размеры (мм) |
Напряжение питания (В) |
Счетчик фотонов |
H7155 серия |
300 –650 |
1,5,10 |
диам.8 |
22х50х50 |
5 |
H7421 серия |
300 –890 |
1,5 |
диам.5 |
56х36х104 |
5 |
H8259 серия |
185 –900 |
2,5 |
4х20, 4х6 (–02 тип) |
38х95х50 |
5 |
H7828 серия |
300 –850 |
1,5 |
диам.15 |
26х50х56 |
5 |
H7360 серия |
300 –850 |
6 |
диам.22 |
34dia х114 |
5 |
H7467 |
300 –650 |
1,5 |
диам.8 |
35х50х60 |
5 |
Тип |
Номер серии |
Спектральный отклик (нм) |
Характеристика |
Размер чувствительной области (мм) |
Габаритные размеры (мм) |
Напряжение питания (В) |
С доп.функциями |
H7680 серия |
300 –650 |
Время нарастания 1,7 ns |
диам.24 |
58х84х170 |
15 |
Квантовая эффективность представляет собой отношение числа фотоэлектронов на фотон и является очень важным показателем, определяющим соотношение «сигнал — шум ». Важно подобрать модуль с ФЭУ, имеющий высокую квантовую эффективность на длине волны измеряемого света.Для получения низкого предела чувствительности с хорошим соотношением «сигнал — шум » при измерении слабых потоков света, наряду с квантовой эффективностью необходимо учитывать темновой порог и темновой ток. Сравнение модулей с ФЭУ по их спектральным параметрам представлено на рис.3 –5.
Типовая квантовая эффективность (%)
Длина волны, nm |
H7732 |
H7732 01 |
H7710 11 |
H7710 15 |
H7826 |
H5773 06 |
H7422 40 |
200 |
— |
14.9 |
27.3 |
11.8 |
— |
12.4 |
— |
300 |
4.1 |
20.2 |
28.9 |
19.5 |
20 |
18.5 |
6 |
400 |
18.6 |
18.6 |
27.3 |
13 |
25.7 |
18.9 |
28.2 |
500 |
11.6 |
11 |
16.4 |
5.8 |
17.3 |
12.4 |
40 |
600 |
2.2 |
3.5 |
5 |
0.9 |
2.4 |
1 |
36.1 |
700 |
— |
0.1 |
0.7 |
— |
— |
— |
7.7 |
Рис.3. Спектральные зависимости квантовой эффективности для модули с ФЭУ, чуствительных в диапазоне от ультрофиолета до видимого диапазона |
Типовая квантовая эффективность (%)
Длина волны, nm |
H7710 13 |
H7710 14 |
H7732 10 |
H6780 02 |
H6780 04 |
H6780 20 |
H7422 50 |
200 |
29 |
21.3 |
15.8 |
— |
11.5 |
— |
— |
300 |
32.9 |
22.3 |
23.8 |
5 |
20.1 |
3.4 |
— |
400 |
31.3 |
18.3 |
22.9 |
9.6 |
18.6 |
8.9 |
2.3 |
500 |
25.7 |
16.6 |
15.4 |
14.4 |
11 |
18.3 |
8.8 |
600 |
18.6 |
12.9 |
9.3 |
11.1 |
6.1 |
15.9 |
12.9 |
700 |
9.7 |
3.5 |
5.7 |
5.2 |
2.6 |
12.8 |
13.7 |
800 |
4.3 |
0.1 |
2.7 |
1 |
0.2 |
7.4 |
13.9 |
Рис.4. Спектральные зависимости квантовой эффективности для модулей с ФЭУ, чувствительных в диапазоне от ультрофиолета до ближнего ИК-диапазона |
Типовая чувствительность счета фотонов(s–1 ± pW –1)
Длина волны, nm |
H7155 |
H7421-50 |
H7421-40 |
H7360-01 |
H8259 |
H8259-01 |
H8259-02 |
200 |
— |
— |
— |
— |
1.1х10 5 |
1.4х10 5 |
1.1х10 5 |
300 |
1.2х10 5 |
— |
6.3х10 4 |
1.0х10 5 |
2.1х10 5 |
2.7х10 5 |
2.5х10 5 |
400 |
2.7х10 5 |
3.3х10 4 |
4.0х10 5 |
2.6х10 5 |
2.6х10 5 |
3.3х10 5 |
3.0х10 5 |
500 |
2.2х10 5 |
1.6х10 5 |
7.0х10 5 |
1.4х10 5 |
1.9х10 5 |
3.2х10 5 |
2.5х10 5 |
600 |
2.1х10 4 |
2.7х10 5 |
7.6х10 5 |
3.6х10 5 |
7.5х10 4 |
2.0х10 5 |
2.3х10 5 |
700 |
— |
3.4х10 5 |
1.9х10 5 |
— |
1.5х10 3 |
1.4х10 5 |
6.8х10 4 |
800 |
— |
3.9х10 5 |
— |
— |
— |
1.6х10 4 |
7.5х10 4 |
900 |
— |
2.8х10 3 |
— |
— |
— |
— |
3.0х10 2 |
Рис. 5. Спектральные зависимости чувствительности счета фотонов для модулей с ФЭУ |
Резюмируя представленные материалы, можно дать следующую характеристику модулям ФЭУ по их параметрам:
- Спектральный диапазон 185 –900 нм.
- Временная характеристика до 0,78 нс по фронту нарастания.
- Встроенные усилители и другие функциональные группы.
- Рабочее напряжение 15/5 В.
- Возможность питания от батарей элементов благодаря малому потреблению.
Подобные модули ФЭУ могут найти применение в лазерных радарах, многофотонной микроскопии, мониторах гигиены окружающей среды, спектральной радиометрии, а также в любых измерениях излучения малого уровня для высоких скоростей считывания вплоть до подсчета фотонов.
Сергей Орлов
|